電子特氣產(chǎn)品開始全新突破

電子特氣被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。

在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子氣體,因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,雖然看似占比不大,但是很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),都會(huì)極大地推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。

一是深度提純技術(shù)難度較大。以硅烷為例,將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路,除了要解決普通氣態(tài)雜質(zhì)的純化問題,還要將金屬元素凈化到10-9級(jí)和10-12級(jí)。二是包裝和儲(chǔ)運(yùn)跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用都要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,以避免二次污染的發(fā)生。三是分析檢驗(yàn)觀念落后。國內(nèi)對(duì)電子氣體生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域分析檢測技術(shù)的研究開發(fā)工作不夠重視。 目前部分產(chǎn)品已經(jīng)獲突破,國產(chǎn)化率在30%。